卒　業　研　究
電気電子情報工学科 プラズマ研究室
【 指導教職員 】 小野茂
【 研究概要 】
　新素材の開発、固体表面の改質、半導体プロセス、排ガス処理等に幅広くプラズマが利用されるようになった。一方、個々の応用において、それに関与するプラズマ現象が十分に解明されておらず多くの試行錯誤が行われているのも現実である。これらの解決にはプラズマ中の原子、分子過程も含めた理解及び固体表面とプラズマとの相互作用に関する知識のいっそうの集積が必要となる。そこで、プラズマの診断技術の開発研究と化学反応を伴うプラズマの計算機シミュレーション等を通して、これらの解明に努めている。
【 卒業研究課題 】
 1．静電プローブによる反応性プラズマ診断
 2．高効率マイクロ波プラズマの生成実験
 3．マイクロプラズマによる環境処理
 4．酸素プラズマの計算機シミュレーション
 5．マイクロ波プラズマによるダイヤモンド膜生成実験
 6．プラズマジェット内の振動励起分子の振舞
 7．プラズマジェットの流速測定
 8．プラズマジェット流速の計算機シミュレーション
 9．プラズマジェットによる新機能性材料開発
10．気体レーザの励起機構の解明
11．プラズマによる廃プラスチックの処理
12．アークプラズマによる環境処理
13．細線爆発プラズマ内のエネルギー収支
14．電離層プラズマに対する振動励起分子の影
【 研究室の特色 】
　学生の主体性を十分に発揮できる自由な雰囲気が特長である。また、学外の研究機関や他大学との共同研究も盛んである。
　研究対象であるプラズマはLSI製造、レーザ発振、環境処理など今日の技術の中核をなすものである。このプラズマの高度利用のためには、プラズマの計測技術が重要な役割をはたす。その１つである静電プローブ計測にかけては日本あるいは世界をリードする立場にある研究室である。最近ではさらに分光学的な計測にも力を入れている。

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