教 授 要 目 |
| 環境エネルギー工学科 | 特別講義(2)(真空技術と機器分析(物理分析)) |
| Vacuum Technology and Instrumental Analysis | |
| 3 年 2 単位 選択科目 | |
| 担当教員 吉田明 | |
| 【 科目概要・到達目標 】 【科目概要】 最近，電子顕微鏡などの機器分析装置の進歩はめざましいが，機器分析装置は最新の工学（電気・電子・精密機械・情報・真空工学）などを応用して作られており，特に真空技術が必修である。そこで，真空技術の基礎と真空ポンプ機器など原理・構造を学び，さらに真空を利用した機器分析装置の原理・構造・応用を学ぶ。 【到達目標】 １．真空機器の種類，原理，適応について把握する。 ２．機器分析装置と真空技術の関係を知る。 ３．機器分析装置の適正な利用方法を知る。 |
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| 【 成績評価 】 中間試験(50%)，期末試験(50%) |
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| 【 履修心得 】 高校の物理、化学を復習すること。 |
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| 【 授業計画 】 １．真空の基礎 ２．気体・希薄気体の性質 ３．平均自由行程と機器分析装置 ４．真空の計測と真空計測器 ５．各種真空ポンプの原理と構造（１） ６．各種真空ポンプの原理と構造（２） ７．各種真空ポンプの原理と構造（３） ８．中間試験 10．真空中における電磁波（光，Ｘ線）および荷電粒子（電子，イオン）と個体の相互作用 11．真空を利用した機器分析装置原理と応用（１） 12．真空を利用した機器分析装置原理と応用（２） 13．真空を利用した機器分析装置原理と応用（３） 14．真空を利用しない機器分析装置 15．期末試験 |
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| 【 教科書 】 特に指定なし（プリント配布予定） |
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| 【 参考書 】 日本真空協会関東支部編「わかりやすい真空技術」日刊工業新聞，染野檀，安盛岩雄編「表面分析」講談社サイエンティフィク，その他 |
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| 【e-mail address】 オンライン版では非公開です。 |
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| 【 学生へのメッセージ 】 欠席する場合は上記メール等に連絡をすること。 |
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| 【 オフィスアワー 】 メールにてアポイントをとること。（16号館１階） |
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